往生记

一百三十

经过了几个月的焦急等待与煎熬，长久和虞博士倾注心血的第一个芯片工厂终于在1983年的五月份调试成功进行了试生产。

试生产的产品是16k的mos动态存储器，比较成熟的产品，工艺也不复杂，但是却是十分的考验生产线的性能。

动态存储器结构很简单，只要一到三个晶体管即可构成一个存储单元，视结构而定。制造存储器的关键在于集成度，将成百上千的存储单元集合在一起组成阵列，相互之间的线宽要缩小到极限，这样才能降低成本，因此对工艺的要求很高。

这也是为什么一个芯片工厂的技术指标乃至一个国家的集成电路工艺水平总是用单片存储器的容量表示的原因，这方面的竞争可以说用残酷来形容，美国、欧洲、日本都在争分夺秒的提高动态存储器的容量，其中以日本做的最为变态。

小鬼子以重工业立国，几十年如一日的搞“物作”，信奉的是实体，懂得以国家之力冲刺难关，终于突破了集成电路制造技术，让日本公司在国际上都有了竞争力，能和美国人竞争mos存储器制造。

曹长久的这个芯片生产线虽说按着公开的最新技术设计，但是不敢托大，只是选择了成熟的东西试产，力求一次成功，不留后患，时间不等人。

试产那天，虞博士和曹长久严阵以待，每个环节都亲自把关。原料是进口的高纯3英寸硅单晶，价格那是相当的高。

集成电路芯片号称比黄金都贵，物料成本却比垃圾都低，其原因就是原料使用的是无所不在的沙子。

但是将沙子当中的硅提炼提纯却需要相当的工艺，这个成本就是高的惊人了。光有晶圆还不够，整个生产工序足有89道，每一道都是一个关口，要想将成品率控制在百分之八、九十以上其难度可想而知。

作为精密印刷业的一个分支，芯片工艺最见不得的就是灰尘和缺陷，更何况几乎上百道的工序要转移。

因此每道工序的合格率就成了关键，哪怕是百分之九十九也不成。很简单，一道工序合格百分之九十九，那么近百道工序下来还剩多少能用的？

因此虞博士和长久他们一个工序一个工序的检查，务必保证完美。虞博士是老手，他当年就是干这个的，因此熟门熟路。

长久就是一生手，好在他现在的地位已经不需要干什么了，只要站那里看就行了。

把所有的工序滤一遍需要好长时间，整整一个星期就这么过去了，长久不禁发懵。

“虞叔，不是要试产吗？”长久感觉不太对劲，“这都过去好些日子了，怎么还没动静？”

“年轻人少安毋躁！”虞博士成竹在胸，“没有三两三，哪敢上梁山！一年多都等下来了，还在乎这点时间，我们虽说有点钱，但也禁不起造的，准备充分一点还是有好处的。”

欲善其事先利其器的道理长久还是懂得，倒也没说什么。虞博士这些日子的辛劳他也看在眼里，人家都身先士卒了，长久一个头还能不表示表示？

忙碌了一周之后，生产线悄无声息的开动了，一片片的晶圆犹如烤面包一样的在炉子里面旋转烘烤。一片灰尘就能报废整个的晶圆，人人在里面都得穿上防化服，防止各种各样的污染。

这个生产线还不是全自动化的，依然有人在里面做一些必须的工作，人人都小心翼翼，手里端的可都是希望。

整整72小时，第一批的16k存储器晶圆出炉了，经过切割检测，一个大致的成品率数据被估算出来了。

“百分之七十八，嗯。”虞博士嘴里念叨着，脸上不动声色。

长久也不知道这个数据是好是坏，只好问道：“虞叔怎么样，能不能成啊。”

虞博士笑道：“还行，等我们的工艺参数微调之后相信会更好。”

“那就是成功了！”长久拿着一块成品晶圆兴奋的大叫，“万岁！”

这是一颗16Kbit的mos管动态存储器，是基于单晶体管存储单元的结构，使用了两层多晶薄膜分开三层电路结构，就好像电路板分层一样。

两层多晶结构可以使整个的集成电路可以有更好的布线效率，就相当于一块电路板双层的可以比单层的面积缩小一半。

这是存储器制造工艺的一个革命性的改进，是虞博士亲自开发的。美国人早在1975年就实现了这个工艺，而华夏在这个年代还没有这样的技术，这次成功也算是一个小小的突破吧。

为了制造出两层多晶膜，这颗动态存储器使用了7层掩膜（MASK）。所谓掩膜，就是一张刻有图形的透光板而已。

我们都会用硬纸板写字或画上图案，然后按着图形掏空，拿喷漆一喷就是一个字或图案出来了。集成电路也是一样，只不过光代替了喷漆，而掩膜板代替了硬纸板而已。

集成电路生产线使用的掩膜板大多是石英玻璃，表面喷涂了金属铬，用照相技术或者电子束在其上进行感光，之后酸一洗就是一个带着图案的掩膜版。

长久他们的工厂设备分辨率只能达到1~到3微米，只能进行分步投影，接近正常的图形,七层掩膜就是做这个用的。

三英寸的硅晶圆，五微米的生产技术，整个16k动态存储器的芯片面积（die）大概19平方毫米，十分之小巧玲珑。

16k的存储器早就是过时的产品，五微米技术也远不是这个工厂的极限，只是这都是虞博士的考虑。

生产线刚刚运转，各种工艺条件需要磨合，人员素养也要提高，为了保险起见只能拿这个东西练手，

还好没出什么大的纰漏，一切同虞博士的预想一样。

“长久，可以召开发布会了。”虞博士长出一口气，“目前看来运转良好，下一步就可以使用2微米技术试产021改进型了。”

这个不用长久操心，公司里早有一帮人专门干这个的。五月十八日，数字东方在半岛酒店隆重召开了记者招待会，邀请各家媒体记者，向社会宣布了数字东方的芯片工厂试产成功，不日即将出口供货。

十分可惜，似乎港府对这个消息并不怎么在意，来的记者大多是应差。倒是老外对此很重视，前排啪啪坐了一大群，各类重型装备摆了一溜，似乎就等着拍照片。

长久没见过这个大场面，刚一上台还没说话就被闪光灯炫的退了一步。

长久定了定神，索性不看下面，拿出了演讲稿开始朗读。一连串的数据指标出来，把下面的老外都唬的一愣一愣的。

讲到酣处，长久取出了早已准备好的一块报废晶圆，给下面的家伙做了一个pose。

这是长久梦中常见的场景，他可是十分羡慕那些人模人样的家伙捧着块晶圆站在讲台上。今天长久可真是激动啊，这可是他自己的产品，终于实现了梦想。

那些记者哪见过这个架势，顿时闪光灯响声大作，一张经典传世照片就这样诞生了。

第二日，各大报纸纷纷登载了这条消息，主题就是一个年轻人傻傻的手捧闪光的硅晶圆的相片。

香港《大公报》对这个新闻做了一篇短评，高调的赞扬了本土高新技术产业的发展，对长久本人也是表示了很大的兴趣，因为这家伙实在是太年轻了。

国外的报纸也纷纷转载，不过大多对此表示了轻视或嘲笑，因为长久在会上展示的DRAM制造技术还是美国75年的水平，因此完全不把他当作一个威胁。

只有宫本屁颠屁颠的跑了过来，询问供货事宜。

长久此时当然自信满满的答应他，一个月后第一批货就可以出了，你们就把钱准备好吧。

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今日实在不顺，不过还是坚持……

阿乱兄说的有理，他们是不会仆的……